L'analitzador d'espectroscòpia infraroja de transformada de Fourier (FTIR) s'utilitza a la indústria de fabricació de semiconductors. FTIR és un instrument d'anàlisi espectral que utilitza espectroscòpia infraroja per analitzar la concentració d'impureses mitjançant la transformada de Fourier. L'espectròmetre consta principalment d'una font de llum (vareta de carboni de silici, làmpada de mercuri d'alta pressió), interferòmetre de Michelson, detector i interferòmetre
La llum infraroja emesa per la font de llum infraroja S és col·limada en un feix infraroig paral·lel i entra al sistema d'interferència. Després de l'ajust per l'interferòmetre, s'obté un feix de llum d'interferència. La llum d'interferència travessa la mostra Sa per obtenir un senyal d'interferència que conté informació espectral, que arriba al detector D i després es converteix en un senyal elèctric per D. El senyal d'interferència aquí és una funció de temps, que és el patró d'interferència dibuixat pel senyal d'interferència. , i el seu eix horitzontal és el temps o distància en moviment del mirall en moviment. Aquest patró d'interferència s'envia a l'ordinador mitjançant un convertidor A/D, i l'ordinador realitza càlculs ràpids de transformada de Fourier per obtenir un espectre d'infrarojos amb el nombre d'ona com a eix horitzontal. A continuació, s'envia a un traçador mitjançant un convertidor D/A per dibuixar un espectre d'absorció d'infrarojos estàndard molt conegut.
